高純氬氣是一種無色、無味、的惰性氣體，主要用途包括：
1. 用于半導體工業中的氣相沉積、光刻、蝕刻等工藝，作為保護氣體和反應氣體；
2. 用于金屬焊接和切割，作為保護氣體，防止氧化和熔化；
3. 用于填充惰性氣體燈，如氬氣燈、氖氣燈等；
4. 用于填充氣體分析儀，如氣相色譜儀、質譜儀等；
5. 用于氣體放電管、高頻管等電子管的制造；
6. 用于填充高真空設備，如真空泵、真空爐等；
7. 用于氣體保護焊、氬弧焊等焊接工藝；
8. 用于氣體保護熔煉、粉末冶金等工藝；
9. 用于氣體保護涂裝、氣體保護熱處理等工藝；
10. 用于氣體保護切割、氣體保護鉆孔等工藝。
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